Refraktive Multifokusröntgenlinsen und Hartmann-Shack-Sensoren

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Refraktive Röntgenlinsen (engl.: Compound Refractive X ray Lenses, CRLs) weisen eine absorptionsbegrenzte numerische Apertur auf. In dieser Arbeit wird ein Feld von CRLs mit jeweils leicht geneigten optischen Achsen verwendet, um diese Limitierung bei der Vollfeldmikroskopie an Laborquellen zu umgehen. Unter anderem wird auf die röntgentiefenlithografische Herstellung von CRLs eingegangen und parallele Felder von CRLs diskutiert (Hartmann-Shack-Wellenfrontsensor, rasternde Abbildungsverfahren). Compound refractive X-ray lenses (CRLs) have an absorption-limited numerical aperture. In this work, an array of CRLs with slightly inclined optical axes is used to circumvent this limitation in full-field microscopy at laboratory sources. Among other things, fabrication of CRLs via deep X-ray lithography and parallel fields of CRLs (Shack-Hartmann wavefront sensor, scanning imaging methods) are discussed.